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一、建设项目情况简述
项目名称:射频芯片及器件产业化项目
建设性质:**
建设单位:****
建设地点:**省**高新区**路与大**路交叉口西北角
建设内容:项目总投资270000万元,规划总用地面积约130亩,拟建设总建筑面积约19.3万平方米的生产与配套设施。项目达产后,将形成年产能10.8万片GaAs/InP晶圆(含8.4万片GaAs、2.4万片InP)及年产10.2万套射频模块及子系统的综合生产能力,可支撑国内低轨星座年度组网及百万台级卫星直连终端的射频需求。
二、建设项目对环境可能造成影响的概述
废水:项目废水主要有酸碱废水、含砷废水、含氟废水、有机废水、抛光研磨废水、蒸发浓缩冷凝废水、纯水制备浓水、冷却塔排水以及生活污水。
废气:项目产生的废气主要为衬底清洗酸性废气、湿法蚀刻废气、干法刻蚀废气、CVD设备腔体清洗废气、碱性废气、有机废气、外延废气、切割粉尘、芯片封装、模块装配生产线产生的有机废气、焊接废气、危废库废气、污水处理站废气等。
噪声:项目主要噪声源为生产设备、空压机、纯水制备机组、风机等。
固体废弃物:项目产生的固体废物分为危险废物、一般工业固体废物和生活垃圾。危险废物包括废光刻胶、废显影液、废除胶剂、有机废液、废酸液、废碱液、蚀刻废液、危化品包装材料、废活性炭、废机油剂废机油桶、含油废抹布手套、废UV灯管等;一般工业固体废物废靶材、废包装材料纯水制备系统废滤芯等。
三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点
1、废水污染防治措施:衬底清洗酸性废气、湿法蚀刻废气由封闭系统收集后采用“1#两级碱液喷淋塔”处理达标后通过32m高排气筒(DA001)排放。沉积废气由真空泵抽离收集后采用“POU(燃烧水洗)+1#两级碱液喷淋塔”处理达标后通过32m高排气筒(DA001)排放。干法刻蚀废气由真空泵抽离收集后采用“POU(燃烧水洗)+2#两级碱液喷淋塔”处理达标后通过32m高排气筒(DA002)排放。SiO2湿法刻蚀、SiO2干法刻蚀、Si3N4干法刻蚀、CVD设备腔体清洗废气由封闭系统/真空泵抽离收集后采用“POU(燃烧水洗)+3#两级碱液喷淋塔”处理达标后通过32m高排气筒(DA003)排放。碱性废气由真空泵抽离收集后采用两级酸液喷淋塔处理达标后通过32m高排气筒(DA004)排放。有机废气由封闭系统收集后采用“沸石转轮+TO炉燃烧”装置处理达标后通过32m高排气筒(DA005)排放。外延废气由真空泵收集后采用“两级干式吸附”处理达标后通过32m高排气筒(DA006)排放。切割粉尘经滤筒除尘器处理后车间无组织排放。芯片封装、模块装配有机废气由封闭系统收集后采用“两级活性炭吸附装置”处理达标后通过28m排气筒(DA007)达标排放。焊接废气经“焊接烟尘净化器”处理后无组织排放。危废库废气由抽风装置收集后经“二级活性炭吸附装置”处理后通过排气筒(DA008)排放。污水处理站废气由抽风装置收集后采用“二级活性炭吸附装置”处理后通过排气筒(DA009)排放。
2、废气污染防治措施:本项目废水主要有酸碱废水、含砷废水、含氟废水、有机废水、抛光研磨废水、蒸发浓缩冷凝废水、纯水制备浓水、冷却塔排水以及生活污水,其中酸碱废水、含砷废水、含氟废水、有机废水、抛光研磨废水、生活污水分质处理达标后通过市政污水管网进入****处理厂进行深度处理。蒸发浓缩冷凝废水、纯水制备浓水、冷却塔排水直接通过市政污水管网进入****处理厂。
3、噪声污染防治措施:生产设备等室内设备噪声采取设备减振、厂房隔声治理;空压机采取厂房隔声、设备减振、消声治理;风机噪声采取设备减振、隔声罩、消声、软连接等措施治理。
4、固体废弃物污染防治措施:项目产生的一般工业固体废物采取合理的方式收集后转移至一般工业固废暂存间进行贮存,定期委托**回收单位或者一般工业固废处置单位进行利用或者处置。项目设置废液暂存间、危废库用于转移和贮存各类危险废物。各类危险废物经分类收集、转移、贮存后,委托有资质单位定期进行处置。生活垃圾分类收集,交环卫部门处置。
四、生态环境影响报告书提出的生态环境影响评价结论的要点
项目符合国家和地方有关环境保护法律法规、标准、政策、规范及相关规划要求;在生产过程中遵循清洁生产理念,所采用的各项污染防治措施技术可行、经济合理,能保证各类污染物长期稳定达标排放;在采取有效的污染防治措施同时落实“三同时”政策,保证各治理设备的正常运转,满足评价中提出排放标准要求后,各种污染物可稳定达标排放。因此,从生态环境影响角度考虑,项目可行。
五、生态环境影响报告书征求意见稿全文的网络链接及查阅纸质报告书的方式和途径
报告书征求意见稿电子版见本网页附件1;
报告书征求意见稿纸质版:公众可通过电话、传真和电子邮件等方式与项目建设单位或承担环评的单位进行联系,联系方式如下:
建设单位名称:****
联系人:沈经理
联系电话:131****5114
环评单位名称:****研究院****公司
联系人:董工
联系电话及邮箱:027-****8201、0551-****2931****公司)、****@qq.com
六、 征求公众意见的范围及公众意见表的网络链接
本次环境影响评价征求意见的范围主要是:建设项目环境影响评价范围内的公民、法人、其他组织或者相关公众;公众意见表详见附件2。
七、公众提出意见的方式和途径
在公告时间内,公众可向建设单位或环评单位通过e-mail、传真、信函或其他便利的形式提交书面意见。
八、公众提出意见的起止时间
参与起止时间:自本公示发布之日起10个工作日。
3、公众意见表-****射频芯片及器件产业化项目(****).zip
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2026年11月10日