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年产10000吨半导体CMP材料建设项目（阶段性）
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0100MA2WUMEA44 | 建设单位法人：Renhe Jia |
| 孙亮 | 建设单位所在行政区划：******开发区 |
| **省**市高新区**大道与**路**西南角集成电路标准化厂房A3号楼 |
建设项目基本信息
| 年产10000吨半导体CMP材料建设项目（阶段性） | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3985-C3985-电子专用材料制造 |
| 建设地点： | ****开发区 ****开发区 |
| 经度:117.106111 纬度: 31.807500 | ****机关：合****开发区****分局 |
| 环评批复时间： | 2022-01-28 |
| 环建审[2022]10007号 | 本工程排污许可证编号：****0100MA2WUMEA44001Y |
| 2026-09-02 | 项目实际总投资(万元)：15000 |
| 150 | 运营单位名称：**** |
| ****0100MA2WUMEA44 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**伊尔思****公司 |
| 913********63671X9 | 验收监测单位：******公司 |
| ****0724MAE07T982Y | 竣工时间：2025-10-31 |
| 2025-12-29 | 调试结束时间：2025-12-31 |
| 2026-09-11 | 验收报告公开结束时间：2026-10-20 |
| 验收报告公开载体： | 链接：https://pan.**.com/s/133lkTaRNZUYiYcE0KyGw3wpwd=xu1k 提取码：xu1k |
2、工程变动信息
项目性质
| 经审核，拟建项目位于****开发区**大道与**路**西南角集成电路产业园1期，租赁A3号楼4层，已在****开发区经济贸易局备案。项目建筑面积约5075m2，建设生产区、办公区、仓储区、公用工程以及配套辅助工程，建设年产10000吨半导体CMP材料建设项目，主要产品为抛光液和清洗液。 | 实际建设情况：项目位于****开发区**大道与**路**西南角集成电路产业园1期，租赁A3号楼4层，已在****开发区经济贸易局备案。项目建筑面积约5075m2，建设生产区、办公区、仓储区、公用工程以及配套辅助工程，实实际**1条氧化硅基氧化物抛光液生产线、1条氧化铈基氧化物抛光液生产线、1条钨抛光液生产线建设内容及配套的环保设施，可年产半导体CMP材料2000吨。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产10000吨半导体CMP材料（其中：Si片抛光液2000吨、氧化硅基氧化物抛光液1000吨、氧化铈基氧化物抛光液2000吨、钨抛光液2000吨、PCMP清洗液3000吨） | 实际建设情况：年产2000吨半导体CMP材料（其中：氧化硅基氧化物抛光液1000吨、氧化铈基氧化物抛光液500吨、钨抛光液500吨） |
| 目前属于阶段性验收，只安装了部分生产线。 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本项目将各液态原料从原料桶泵送至预混罐（晶状原料投加至预混罐），并加入高纯水混合，再进入搅拌罐搅拌，通过循环泵循环过滤，经分析合格后进行全自动灌装，全过程均为密闭系统。 生产过程均不涉及化学反应。本项目产品为配方生产，为保证一次加入的物料搅拌后出来的成品是合格的，必须要控制整个系统的洁净，所有设备使用后每天要使用纯水进行清洗。 （1）配料、预混：根据预定的生产量和配方进行在线自动化配比。 粉料配料罐：粉状物料（氧化硅粉末、氧化铈粉末、氧化铝粉末）在集尘室通过配料罐（2T）加入高纯水混合，进行胶体溶液的配置。粉状物料通过真空上料系统从原料桶泵入配料罐，投料系统为密闭投料。配料时间为1-2h，配料完成后，再通过1-2h的循环搅拌实现混合均匀，配置完成的胶体溶液待用。粉料配料共用一个2T的配料罐，项目共涉及三种粉料的胶体溶液配置，一种粉料配置结束后需要使用纯水进行清洗，再进行下一种粉料的配置。 预混罐：预混罐（1T）中加入高纯水，各液态原料经称重从原料桶泵送至预混罐（1T），预混罐留有人工投料口，晶状原料从罐顶部的投料口（加盖）人工投料，预混罐投料粉尘经排气口集气装置通过管道引至楼顶。投加时间1h，投加过程保持搅拌，搅拌转速为80-120rpm。再通过循环泵与管道进行由下及上的循环，循环约1-2h实现溶解均匀，预混溶液配置完成。 （2）混合搅拌、过滤：根据预定的生产量和配方进行在线自动化配比，将预混溶液利用泵通过管道自动投加到搅拌罐（3T）中，进行密闭物理混合搅拌和过滤（每种产品所用的各类原辅材料均不发生化学反应）。 预混溶液自动投加1-2h，通过循环泵与管道进行由下及上的循环1-2h，实现均匀混合后，再通过循环泵循环过滤（多孔过滤器密闭过滤，0.1~10μm、PP材质）2-4h。整个过程保持搅拌，搅拌转速为80-120rpm。 （3）检测、灌装：过滤后的产品取样检测，测试pH值、粘度、电导率、折光率等指标，检测合格后利用泵通过管道装入HDPE桶中，即得产品，检测不合格再次进入搅拌罐进行循环过滤。 粒径的大小会影响产品的性能（粒径大小决定抛光效率、折光率等），过滤的目的为过滤大颗粒，通过过滤控制产品粒径小于150μm，从而得到合格的产品。 | 实际建设情况：本项目将各液态原料从原料桶泵送至搅拌罐，并加入高纯水混合，通过循环泵循环过滤，经分析合格后进行全自动灌装，全过程均为密闭系统。 生产过程均不涉及化学反应。本项目产品为配方生产，为保证一次加入的物料搅拌后出来的成品是合格的，必须要控制整个系统的洁净，所有设备使用后每天要使用纯水进行清洗。 （1）配料、预混：根据预定的生产量和配方进行在线自动化配比。 粉料配料罐：粉状物料（氧化硅粉末、氧化铈粉末、氧化铝粉末）在集尘室通过配料罐（2T）加入高纯水混合，进行胶体溶液的配置。粉状物料通过真空上料系统从原料桶泵入配料罐，投料系统为密闭投料。配料时间为1-2h，配料完成后，再通过1-2h的循环搅拌实现混合均匀，配置完成的胶体溶液待用。粉料配料共用一个2T的配料罐，项目共涉及三种粉料的胶体溶液配置，一种粉料配置结束后需要使用纯水进行清洗，再进行下一种粉料的配置。 （2）混合搅拌、过滤：根据预定的生产量和配方进行在线自动化配比，将原料、高纯水利用泵通过管道自动投加到搅拌罐（3T）中，进行密闭物理混合搅拌和过滤（每种产品所用的各类原辅材料均不发生化学反应）。 （3）检测、灌装：过滤后的产品取样检测，测试pH值、粘度、电导率、折光率等指标，检测合格后利用泵通过管道装入HDPE桶中，即得产品，检测不合格再次进入搅拌罐进行循环过滤。 粒径的大小会影响产品的性能（粒径大小决定抛光效率、折光率等），过滤的目的为过滤大颗粒，通过过滤控制产品粒径小于150μm，从而得到合格的产品。 |
| 预混工艺已取消，但不产生新的污染物。 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 落实水环境保护措施，项目排水实行雨、污分流。项目新增废水主要为职工生活污水、地坪保洁废水、设备清洗废水、高纯水和纯水制备浓水、皮气吸收装置废水。生活污水经化类池预处理，设备清洗废水、保洁废水和废气吸收装****处理站(处理能力80t/d，采用“中和+絮凝沉淀”工艺)预处理，汇同高纯水和纯水制备浓水进入市政污水管网，排入****处理厂集中处理。 严格落实大气污染防治措施。废气主要为粉料配料工序产生的粉尘以及生产过程投料、混合、搅拌、过滤等工序产生的含尘废气和有机废气，粉料配料工序(投料、混合)产生的粉尘经配料罐的排气口，通过管道引至楼顶，经1套“布袋除尘器”处理后高于楼顶排放通过一根27m高排气筒排放，生产过程投料、混合、搅拌、过滤等工序产生的粉尘和有机废气经预混罐和搅拌罐的排气口排出，通过管道引至楼顶，经1套“碱喷淋+除湿装置+二级活性炭吸附装置”处理后通过一根27m高排气简排放。 严格按照有关规定，分类处理、处置固体废物，做到**化、减量化、无害化。项目产生的固体废物主要为废包装材料、废滤芯(含波渣)、污水处理站产生的污泥、除尘器收尘、废气处理过程中的废活性炭、高纯水设备产生的废活性炭和废RO反渗透膜、纯水设备产生的废RO反渗透膜和生活垃圾等。生活垃圾交由环卫部门清运处理；废活性炭(高纯水制备)和废RO****公司回收利用；废包装材料、废滤芯(含滤渣)、污水处理站产生的污泥、除尘器收尘、废气处理过程中的废活性炭收集后暂存危废暂存间，交由有资质单位处置。危险废物在厂区内临时贮存应严格执行《危险废物贮存污染控制标准》(CB18597-2001)及2013年修改单的要求，其转运严格执行危险废物转移联单管理等要求 对搅拌罐、空压机、风机等生产设备合理布局，并采取隔声、减振等噪声污染防治措施。 | 实际建设情况：排水实行雨、污分流。项目新增废水主要为职工生活污水、地坪保洁废水、设备清洗废水、高纯水和纯水制备浓水、废气吸收装置废水。生活污水经化类池预处理，设备清洗废水、保洁废水和废气吸收装****处理站（处理能力80t/d，采用“混凝沉淀+板框压滤”工艺)预处理，汇同高纯水和纯水制备浓水进入市政污水管网，排入****处理厂集中处理。 粉料配料工序产生的粉尘以及生产过程投料、混合、搅拌、过滤等工序产生的含尘废气和有机废气，粉料配料工序(投料、混合)产生的粉尘经配料罐的排气口，通过管道引至楼顶，经1套“布袋除尘器”处理后高于楼顶排放通过一根27m高排气筒排放，生产过程投料、混合、搅拌、过滤等工序产生的粉尘和有机废气经预混罐和搅拌罐的排气口排出，通过管道引至楼顶，经1套“碱喷淋+除湿装置+二级活性炭吸附装置”处理后通过一根27m高排气简排放。 生活垃圾：由环卫部门统一收集处理； 一般工业固体废物：废活性炭（高纯水制备）、RO反渗透膜（高纯水和****公司回收利用； 危险废物：废包装材料（粘附化学品的包装桶、粘附化学品的包装袋）、废活性炭、废滤芯（含滤渣）、污水处理站产生的污泥、废碱液、废树脂、报废试剂、报废产品、废油、除尘器收尘暂存于厂区危废库，定期由****以及**市壮邸仁****公司安全处置。 对搅拌罐、空压机、风机等生产设备合理布局，并采取隔声、减振等噪声污染防治措施。 |
| 未发生变化 | 是否属于重大变动：|
其他
| 有关本项目的其他环境影响的减缓措施，按环评文件要求认真落实。 | 实际建设情况：有关本项目的其他环境影响的减缓措施，按环评文件要求认真落实。 |
| 未发生变化 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准，达到****处理厂接管标准 | ****处理站（处理能力80t/d，工艺“混凝沉淀+板框压滤”，位于室外一楼东南侧） | 污水处理站排放口pH、化学需氧量、氨氮、悬浮物、五日生化需氧量日均值满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放标准、《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准及合****处理厂接管标准。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | DA001 | **市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015） | 1套“布袋除尘器”处理后高于楼顶排放，27m高排气筒， | DA001 排气筒中颗粒物排放满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2025）要求 | |
| 2 | DA002 | 1套“碱喷淋+除湿装置+二级活性炭吸附装置”处理后高于楼顶排放，27m高排气筒， | **市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933—2025）； **省《固定源挥发性有机物综合排放标准第5部分电子工业》（DB34/4812.5-2024） | DA002 排气筒中颗粒物、氯化氢、硫酸雾、非甲烷总烃均满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2025）要求（其中非甲烷总烃同时满足**省《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）要求），硝酸雾未检出，满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933—2025）标准要求；臭气浓度满足**市《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）要求。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 低噪声设备、将生产设备噪声源放于室内、安装减振基座、风机出风口安装消声器、厂房隔声、距离衰减、合理布局等措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准 | 低噪声设备、将生产设备噪声源放于室内、安装减振基座、风机出风口安装消声器、厂房隔声、距离衰减、合理布局等措施 | 监测期间，项目厂界昼间噪声等效声级（Leq）最大值为57.4dB(A)<65dB(A)，满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准限值要求。 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 重点防渗区：防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥6.0m，K≤1.0×10-7cm/s；或参照《****填埋场污染控制标准》（GB18598-2001）中对防渗层的要求为“人工合成材料衬层可以采用**度聚乙烯（HDPE），其渗透系数不大于10-12cm/s，厚度不小于1.5mm。”本项目重点防渗区防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥6.0m，K≤1.0×10-7cm/s的要求。 一般防渗区：防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥1.5m，K≤1.0×10-7cm/s；或参照《****填埋场控制标准》（GB16889-2008）中对防渗层的要求：“如果天然基础层饱和渗透系数不小于1.0×10-5cm/s，或者天然基础层厚度小于2m，应采用双层人工合成材料防渗衬层。下层人工合成材料防衬层下应具有厚度不小于0.75m，且其被压实后的饱和渗透系数小于1.0×10-7cm/s的天然粘土衬层，或具有同等以上隔水效力的其他材料衬层；两层人工合成材料衬层之间应布设导水层及渗漏检测层。人工合成材料防渗衬层应采用满足CJ/T234中规定技术要求的**度聚乙烯或者其他具有同等效力的人工合成材料。”。 简单防渗区：做一般地面硬化处理。 | 重点防渗区：防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥6.0m，K≤1.0×10-7cm/s；或参照《****填埋场污染控制标准》（GB18598-2001）中对防渗层的要求为“人工合成材料衬层可以采用**度聚乙烯（HDPE），其渗透系数不大于10-12cm/s，厚度不小于1.5mm。”本项目重点防渗区防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥6.0m，K≤1.0×10-7cm/s的要求。 一般防渗区：防渗层需满足等效粘土防水层Mb≥1.5m，K≤1.0×10-7cm/s；或参照《****填埋场控制标准》（GB16889-2008）中对防渗层的要求：“如果天然基础层饱和渗透系数不小于1.0×10-5cm/s，或者天然基础层厚度小于2m，应采用双层人工合成材料防渗衬层。下层人工合成材料防衬层下应具有厚度不小于0.75m，且其被压实后的饱和渗透系数小于1.0×10-7cm/s的天然粘土衬层，或具有同等以上隔水效力的其他材料衬层；两层人工合成材料衬层之间应布设导水层及渗漏检测层。人工合成材料防渗衬层应采用满足CJ/T234中规定技术要求的**度聚乙烯或者其他具有同等效力的人工合成材料。”。 简单防渗区：做一般地面硬化处理。 |
表5 固废治理设施
| 1 | 严格按照有关规定，分类处理、处置固体废物，做到**化、减量化、无害化。项目产生的固体废物主要为废包装材料、废滤芯(含波渣)、污水处理站产生的污泥、除尘器收尘、废气处理过程中的废活性炭、高纯水设备产生的废活性炭和废RO反渗透膜、纯水设备产生的废RO反渗透膜和生活垃圾等。生活垃圾交由环卫部门清运处理；废活性炭(高纯水制备)和废RO****公司回收利用；废包装材料、废滤芯(含滤渣)、污水处理站产生的污泥、除尘器收尘、废气处理过程中的废活性炭收集后暂存危废暂存间，交由有资质单位处置。 危险废物在厂区内临时贮存应严格执行《危险废物贮存污染控制标准》 | 验收调试期间本项目产生的固体废物有废包装材料（粘附化学品的包装桶、粘附化学品的包装袋）、废活性炭、废滤芯（含滤渣）、污水处理站产生的污泥、废碱液、废树脂、报废试剂、报废产品、废油、除尘器收尘；高纯水设备产生的废活性炭和废RO反渗透膜、纯水设备产生的废RO反渗透膜和生活垃圾等。生活垃圾环卫部门统一清运；废活性炭（高纯水制备）和RO反渗透膜（高纯水和纯水制备）****回收部门回收；废包装材料（粘附化学品的包装桶、粘附化学品的包装袋）、废活性炭、废滤芯（含滤渣）、污水处理站产生的污泥、废碱液、废树脂、报废试剂、报废产品、废油、除尘器收尘暂存于厂区西南侧危废暂存间（建筑面积20m2），委托****以及**市壮邸仁****公司安全处置定期处理 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 生产区、物料贮存区配套视频监控、有毒有害气体报警设备、火灾自动报警系统（感烟探头）及火灾手动按钮、自动切断等事故应急处置装置；配足灭火器等应急物资；原辅料暂存间1设置7.5m×6m×0.2m的围堰，原辅料暂存间2设置6m×6m×0.2m的围堰；设置事故应急池（150m3） | 生产区、物料贮存区配套视频监控、有毒有害气体报警设备、火灾自动报警系统（感烟探头）及火灾手动按钮、自动切断等事故应急处置装置；配足灭火器等应急物资；原辅料暂存间1设置7.5m×6m×0.2m的围堰，原辅料暂存间2设置6m×6m×0.2m的围堰；设置事故应急池（150m3） |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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环保搬迁
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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区域削减
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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生态恢复、补偿或管理
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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功能置换
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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