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该项目占地面积66700平方米,建筑面积3.2万平方米,包括:
***碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间、研发中心、辅助厂房、员工宿舍、食堂及办公用房等,购置主要研发设备、检测设备和其他辅助设备共576台(套),,年产碳化硅晶圆片4英寸(直径100mm)3万片、6英寸(直径150mm)12万片